[实用新型]一种基于合作目标光栅的主轴径向回转误差测量装置有效
| 申请号： | 202020323889.8 | 申请日： | 2020-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN211234298U | 公开（公告）日： | 2020-08-11 |
| 发明（设计）人： | 刘阳;张勇飞;林杰;金岸;金鹏 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/02 |
| 代理公司： | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209 | 代理人： | 陈润明 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种基于合作目标光栅的主轴径向回转误差测量装置，属于精密仪器制造及测量技术领域；在该装置中，光束整形器件固定在被测主轴的回转端面上，环形标尺光栅固定在光束整形器件上方，斜纹指示光栅位于环形标尺光栅上方，光电转换装置固定在斜纹指示光栅上方，电子信号处理部件位于光电转换部件上方，光源位于光束整形器件工作面的径向，准直扩束系统位于光源与光束整形器件之间；光束整形器件与被测主轴轴线重合，环形标尺光栅与光束整形器件轴线重合，斜纹指示光栅与环形标尺光栅轴线重合，光电转换部件与斜纹指示光栅轴线重合；通过将合作目标光栅与光电转换器件组合，大大减少了装置制作成本，提高测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 合作 目标 光栅 主轴 径向 回转 误差 测量 装置 | ||
【主权项】：
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