[实用新型]一种自动检测破片、双片并提示报警的装置有效
| 申请号: | 202020272312.9 | 申请日: | 2020-03-06 |
| 公开(公告)号: | CN211507665U | 公开(公告)日: | 2020-09-15 |
| 发明(设计)人: | 张政;刘宁杰 | 申请(专利权)人: | 江苏杰太光电技术有限公司 |
| 主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/67;G08B21/24;G08B3/10 |
| 代理公司: | 北京集智东方知识产权代理有限公司 11578 | 代理人: | 吴倩 |
| 地址: | 225500 江苏省泰州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | 本实用新型公开了一种自动检测破片、双片并提示报警的装置,包括两个光电传感器、PLC控制器、一组对射传感器;两个光电传感器对称置于硅片下方,PLC控制器用于接收光电传感器的信号并发出报警信号;对射传感器分别设置在传输模组上并分别位于硅片正上方及正下方且上下正对,PLC控制器用于接收对射传感器的信号并发出报警信号。该实用新型采用超声波传感器鉴别双片并及时的将叠片移除回收并采用光电传感器感应检测破片,用感应时间比较来判断是否是破片,具有低延时、高精度、价格低且不会引起误检测的优点;通过气缸吸盘及时高效地移除破损硅片,避免了污染,可以减少客户的人工操作,提高了产能。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 自动检测 破片 提示 报警 装置 | ||
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的





