[实用新型]一种自动检测破片、双片并提示报警的装置有效

专利信息
申请号: 202020272312.9 申请日: 2020-03-06
公开(公告)号: CN211507665U 公开(公告)日: 2020-09-15
发明(设计)人: 张政;刘宁杰 申请(专利权)人: 江苏杰太光电技术有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L21/67;G08B21/24;G08B3/10
代理公司: 北京集智东方知识产权代理有限公司 11578 代理人: 吴倩
地址: 225500 江苏省泰州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种自动检测破片、双片并提示报警的装置,包括两个光电传感器、PLC控制器、一组对射传感器;两个光电传感器对称置于硅片下方,PLC控制器用于接收光电传感器的信号并发出报警信号;对射传感器分别设置在传输模组上并分别位于硅片正上方及正下方且上下正对,PLC控制器用于接收对射传感器的信号并发出报警信号。该实用新型采用超声波传感器鉴别双片并及时的将叠片移除回收并采用光电传感器感应检测破片,用感应时间比较来判断是否是破片,具有低延时、高精度、价格低且不会引起误检测的优点;通过气缸吸盘及时高效地移除破损硅片,避免了污染,可以减少客户的人工操作,提高了产能。
搜索关键词: 一种 自动检测 破片 提示 报警 装置
【主权项】:
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