[实用新型]放电激励气体激光装置有效
| 申请号： | 202020259817.1 | 申请日： | 2020-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN211789972U | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 鲸涼太;伊藤贵志;石井卓也;八代将徳 | 申请（专利权）人： | 极光先进雷射株式会社 |
| 主分类号： | H01S3/03 | 分类号： | H01S3/03;H01S3/036 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 王锴;陶海萍 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例提供一种放电激励气体激光装置。通过在第1密封部件的大气侧设置第2密封部件，并且，向第1密封部件与第2密封部件之间的空间内导入惰性气体或氮气，这样，能够通过导入的惰性气体或氮气对该空间内的气体进行净化，防止了大气中的水分和氧气等成分透过第1密封部件进入腔室内，从而能够保证放电激励气体激光装置的性能，避免激光气体的交换频率上升以及运行成本的增加。 | ||
| 搜索关键词： | 放电 激励 气体 激光 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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