[实用新型]整体铸造型光刻机物镜冷却水套有效
| 申请号： | 202020207373.7 | 申请日： | 2020-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN212060866U | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 马宏超 | 申请（专利权）人： | 苏州美迈快速制造技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及应用于光刻机物镜冷却领域，尤其涉及一种整体铸造型光刻机物镜冷却水套。一种整体铸造型光刻机物镜冷却水套，包括内套、不锈钢弯管以及砂模组件，其特征在于：所述内套套在砂模组件当中，所述不锈钢弯管盘在内套上，且所述不锈钢弯管通过电焊的的方式设置在内套外壁。本实用新型的有益之处：不锈钢盘管焊在一个不锈钢内套上，保证了盘管尺寸误差在±1mm左右，从而保证了铸件后期加工不会把不锈钢弯管加工穿漏。 | ||
| 搜索关键词： | 整体 铸造 光刻 物镜 冷却水 | ||
【主权项】：
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