[实用新型]一种热场埚底结构有效
申请号: | 202020157369.4 | 申请日: | 2020-02-10 |
公开(公告)号: | CN211823808U | 公开(公告)日: | 2020-10-30 |
发明(设计)人: | 吴超慧;朱厚军 | 申请(专利权)人: | 宇泽半导体(云南)有限公司 |
主分类号: | F27B14/10 | 分类号: | F27B14/10;F27B14/08;C30B15/10 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 675000 云南省楚雄彝族*** | 国省代码: | 云南;53 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种热场埚底结构,包括安装座、齿轮和坩埚本体,所述安装座的内部轴承连接有转杆,且转杆后端与伺服电机的输出端连接,所述齿轮键连接在转杆的外侧,且齿轮的左侧啮合连接有托架,所述托架下方的右侧安装有齿块,且托架下方的左侧固定安装有限位块,所述限位块贴合设置在限位槽的内部,所述托架上方的内部通过弹簧与调节杆连接。该热场埚底结构设置有安装板和锁定板,坩埚本体带动延长杆压动调节杆移动,通过拉动连接杆带动移动杆移动,对安装板及其锁定板的位置进行移动,利用锁定板对坩埚本体进行安装锁定,此结构利用坩埚本体的自身重力便可对坩埚本体进行安装锁定,操作方便,后期便于拆卸。 | ||
搜索关键词: | 一种 热场埚底 结构 | ||
【主权项】:
暂无信息
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