[实用新型]一种平面、球面、抛物面组合干涉测量装置有效
| 申请号： | 202020094699.3 | 申请日： | 2020-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN211740138U | 公开（公告）日： | 2020-10-23 |
| 发明（设计）人： | 刘东;陈楠;张鹄翔;臧仲明 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 胡红娟 |
| 地址： | 310013 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种平面、球面、抛物面组合干涉测量装置，属于光干涉测量仪器技术领域，该装置包括：激光折返扩束系统、主干涉仪系统和成像系统；主干涉系统由偏振调制组件、面形测量组件和相位调制组件组成；偏振组件通过调整起偏器与检偏器的角度实现干涉图的对比度调节，面形测量组件根据不同待测面形调整光路结构，相位调制组件根据不同解调算法调制干涉图相位。本实用新型具有精确高效，结构紧凑，操作简单，扩束光斑均匀，对比度可调节，能够测量平面、球面、抛物面多种光学镜面，能够利用移相、傅里叶载波、正则化相位跟随法(RPT)多种解调算法的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平面 球面 抛物面 组合 干涉 测量 装置 | ||
【主权项】：
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