[实用新型]一种PECVD反应炉

摘要

本实用新型公开了一种PECVD反应炉，包括炉体、炉门、炉尾、设置在所述炉体内的石英炉管、设置在炉尾一端的第一法兰、设置在炉门一端的第五法兰，其特征在于：所述第五法兰与炉门之间朝向炉门方向，并排依次设有第二盘根、第六法兰及第七法兰；在所述第七法兰与炉门相邻的端面上设有与所述石英炉管外壁密封连接的第三密封圈，在第七法兰与炉门之间位于第三密封圈的外侧还间隔设有第四密封圈。本实用新型提出的PECVD反应炉，在炉口处设置多个法兰，增加了反应炉的长度，相对降低了炉门处的温度，在炉门与相邻法兰之间设置双重密封圈，密封圈不用频繁更换，密封效果较好，有效提高了密封圈使用寿命及产品的可靠性。