[实用新型]一种适用于不同半导体产品的高温测试装置有效

专利信息
申请号: 202020028385.3 申请日: 2020-01-07
公开(公告)号: CN211426341U 公开(公告)日: 2020-09-04
发明(设计)人: 柯武生;王桂桂;黄崇城;张进国 申请(专利权)人: 深圳市芯汇群微电子技术有限公司
主分类号: G01N25/00 分类号: G01N25/00;G01R31/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518026 广东省深圳市福田区福田街道福*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 实用新型公开一种适用于不同半导体产品的高温测试装置,其包括壳体,所述壳体内部由上往下依次设有隔热腔和检测腔,所述隔热腔内设有隔热板,所述检测腔内上部设有发热板,所述检测腔内壁上设有温度传感器,所述检测腔内下部设有容纳槽,所述检测腔前端设有观察窗;加热器,所述加热器设于所述隔热板内部,且通过一导热柱与所述发热板连接;控制器,所述控制器设于所述壳体外壁上,所述温度传感器通过所述控制器与所述加热器连接。本实用新型结构简单,仅通过温度传感器、控制器和加热器的配合就可以实现对不同半导体产品的高温测试,大大提高了测试效率,本实用新型具有测试速度快和测试效率高的特点,可更好的推广使用。
搜索关键词: 一种 适用于 不同 半导体 产品 高温 测试 装置
【主权项】:
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