[发明专利]MEMS扫描镜及激光投影仪有效
| 申请号： | 202011635207.8 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN112782845B | 公开（公告）日： | 2023-02-21 |
| 发明（设计）人： | 林育菁;畠山庸平 | 申请（专利权）人： | 歌尔股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G02B26/10;G02B26/12 |
| 代理公司： | 北京正理专利代理有限公司 11257 | 代理人： | 李远思 |
| 地址： | 261031 山东省潍*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开一种MEMS扫描镜及激光投影仪。该MEMS扫描镜的一具体实施方式包括支撑件、反射镜和分别用作悬臂的第一压电致动器及第二压电致动器，所述第一压电致动器及第二压电致动器用于使所述反射镜绕第一旋转轴旋转，还包括第一感测梁，所述第一感测梁一端连接所述支撑件、另一端连接所述反射镜的一侧，所述第一感测梁上设置有用于感测反射镜绕所述第一旋转轴旋转的偏转角度的第一角度传感器。该实施方式可避免对反射镜的旋转造成妨碍，提升对反射镜偏转角度检测的精度，且有利于实现MEMS扫描镜的小型化。 | ||
| 搜索关键词： | mems 扫描 激光 投影仪 | ||
【主权项】：
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