[发明专利]单晶体声波谐振器、滤波器及电子设备在审
| 申请号： | 202011633292.4 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN114696774A | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 张孟伦;庞慰;牛鹏飞 | 申请（专利权）人： | 诺思（天津）微系统有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/05 |
| 代理公司： | 北京金诚同达律师事务所 11651 | 代理人： | 汤雄军 |
| 地址： | 300462 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及体声波谐振器，包括：基底；声学镜；底电极；顶电极；和单晶压电层，设置在底电极与顶电极之间，其中：压电层的下表面与基底的上表面之间设置有支撑结构，压电层与基底大体平行布置；底电极和/或顶电极为间隙电极，所述间隙电极具有至少一个空隙层，在所述间隙电极的厚度方向上，所述空隙层与所述间隙电极的顶面与底面均存在距离；且所述支撑结构包括凹部，所述底电极设置在所述凹部中。本发明还涉及一种滤波器以及一种电子设备。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶体 声波 谐振器 滤波器 电子设备 | ||
【主权项】：
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