[发明专利]微机电结构及其机械性能的调控方法在审
| 申请号： | 202011627164.9 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN112777559A | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 郭梅寒;贺丹;王辉 | 申请（专利权）人： | 慧石（上海）测控科技有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81C1/00;G01P15/08 |
| 代理公司： | 深圳国新南方知识产权代理有限公司 44374 | 代理人： | 周雷 |
| 地址： | 200000 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种微机电结构及其机械性能的调控方法，所述调控方法包括：对电极上电，驱动质量块在垂直第一方向上运动，其中第一方向为所述微机电结构的结构功能方向；当所述质量块在垂直第一方向上发生的位移增大至触发锁止组件的两部分锁定，以使得所述质量块上的部分锁止组件与所述质量块在垂直第一方向的运动路径上的另一部分锁止组件锁合，所述质量块连接固定于垂直第一方向的运动路径上的另一部分锁止组件后在垂直第一方向上停止运动，所述微机电结构在第一方向上的机械性能改变。通过以上方式，在外加的第二电极的驱动下，能够不可逆的改变质量块在第一方向上运动时支撑悬臂梁的总刚度，形成不同性能的微机电结构。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 结构 及其 机械性能 调控 方法 | ||
【主权项】：
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