[发明专利]一种抗氧化、防污染的耐用型化合物蒸发源

摘要

本发明公开了一种抗氧化、防污染的耐用型化合物蒸发源，属于真空镀膜领域，包括：坩埚、加热筒、水冷套和电极法兰，加热筒内有两级加热图层和测温热电偶；电极法兰上开有冷却水槽道、热电偶线孔、加热线孔和支撑杆孔，侧面设有与冷却水槽道相通的进水口和出水口，测温热电偶的引线穿过热电偶线孔与热电偶接线柱连接，一级加热图层和二级加热图层的引线穿过加热线孔并与加热电极连接，支撑杆穿过支撑杆孔并与磁流体控制器连接。本发明的蒸发源通过直接在加热筒内壁制作两级加热图层，解决了现有技术存在的加热丝易老化、氧化的问题，节约更换加热丝的成本，而且克服了现有技术对坩埚加热不均匀的缺点，解决了热损失及物料受热不均匀的问题。