[发明专利]激光共聚焦多点测高系统及测高方法在审
| 申请号： | 202011608082.X | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN112414312A | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 马双双 | 申请（专利权）人： | 嘉兴景焱智能装备技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G01B11/30 |
| 代理公司： | 上海霖睿专利代理事务所(普通合伙) 31391 | 代理人： | 黄燕石;陈得宗 |
| 地址： | 314100 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及精密光学仪器测量系统技术领域，公开了一种激光共聚焦多点测高系统，包括激光光源和共聚焦直线光路，所述激光光源通过准直镜向分光棱镜发射激光，在所述激光光路的准直镜前方，设置微透镜阵列和第一分光镜，激光入射光位于第一分光镜的透光光路上，在所述第一分光镜的分光光路上设置第二分光镜，在所述第二分光镜的透光光路和分光光路上，分别设置正离焦PMT组和负离焦PMT组，在正离焦PMT组的光路上设置正离焦小孔组，在负离焦PMT组的光路上负离焦小孔组，所述微透镜阵列包括多个阵列排布的凸透镜。本发明还公开了对应的测高方法。本发明针对待测面的实际分布通过微透镜阵列来实现更换测试范围，实现同时测量多个不同点的特征信息。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 聚焦 多点 测高 系统 方法 | ||
【主权项】：
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