[发明专利]一种薄膜接触热阻的测试方法有效
| 申请号： | 202011600491.5 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN112816520B | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 童浩;杨冠平;缪向水 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G01N25/20 | 分类号： | G01N25/20 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 尹丽媛;李智 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明属于薄膜材料热特性测试领域，具体涉及一种薄膜接触热阻的测试方法，包括：在三个衬底上分别制备第一、第二待测薄膜以及依次层叠的第一、第二待测薄膜，层叠结构表示第三待测薄膜，在每个衬底对应的薄膜上表面制备金属条；每个衬底厚度大于该衬底对应的金属条在该衬底中的热穿透深度，且该衬底上部薄膜厚度小于热穿透深度；向每个金属条通入交流电信号并测试基波电压和三次谐波电压，分别基于三倍频法计算第一、第二和第三待测薄膜的热阻；由第三待测薄膜的热阻与第一、第二待测薄膜热阻加和的差值得到第一、第二待测薄膜间的接触热阻。本发明可测试纳米尺度超薄膜，对多层待测薄膜间的相对厚度无限制，且多层薄膜的接触状态与实际相符合。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 接触 测试 方法 | ||
【主权项】：
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