[发明专利]用于金属丝二次质谱深度分析的方法有效
| 申请号： | 202011598459.8 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN112345623B | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | 朱雷;华佑南;李晓旻 | 申请（专利权）人： | 胜科纳米（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/64 | 分类号： | G01N27/64 |
| 代理公司： | 北京崇智知识产权代理有限公司 11605 | 代理人： | 赵丽娜 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市工业园*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及材料样品检测技术领域，尤其涉及用于金属丝二次质谱深度分析的方法，包括以下步骤：准备基板，所述基板沿其长度刻蚀有与所述金属丝相适的凹槽；沿所述凹槽的长度将所述金属丝放入所述凹槽内，并将所述金属丝在所述凹槽内固定；所述基板放置在二次离子质谱仪样品台进行测试；所述金属丝的直径为微米级。本发明通过在基板上设置凹槽，以便辅助金属丝和质谱仪探头之间形成类平面结构，这样再进行二次离子质谱仪检测，得到的图谱中主元素层清晰分出，也同时最大减低界面混合效应。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 金属丝 二次 深度 分析 方法 | ||
【主权项】：
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