[发明专利]一种超薄网格薄膜用激光清洗装置及薄膜用激光清洗方法有效
| 申请号： | 202011578204.5 | 申请日： | 2020-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN112845387B | 公开（公告）日： | 2022-12-23 |
| 发明（设计）人： | 王学文;孙楷理;冯宇哲 | 申请（专利权）人： | 武汉理工大学 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;B08B15/04 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人： | 杨晓燕 |
| 地址： | 430070 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请提供一种超薄网格薄膜用激光清洗装置及薄膜用激光清洗方法，其光路传输模块与激光发射模块间隔设置，并接收和传导校准由激光发射模块发射而来的激光；多边转镜模块与光路传输模块间隔设置，并接收和传导由光路传输模块传输而来的激光，用于对金属掩膜版进行激光清洗；实时监测模块用于对清洗过程中的金属掩膜版的形貌以及清洗过程中产生灰尘的光谱信息进行监测分析；实时监测模块和抽尘模块分别间隔地设置于金属掩膜版的相对两侧，用于对金属掩膜版在清洗过程中产生的灰尘进行清洗；控制模块分别与激光发射模块、多边转镜模块、实时监测模块以及抽尘模块电连接。采用该装置对工件进行清洗，能提高清洗效率和效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超薄 网格 薄膜 激光 清洗 装置 方法 | ||
【主权项】：
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