[发明专利]用于探测器阵列芯片和微透镜阵列的安装装置和定位方法

摘要

本发明公开了一种用于探测器阵列芯片和微透镜阵列的安装装置，包括安装底板、探测器芯片底板、微透镜压片、微调移动平台和位置调整平台；所述探测器芯片底板跟随安装底板移动，使超导微波动态电感探测器阵列芯片的外轮廓水平边和测量显微镜中的水平参考线重合；微透镜阵列跟随微调移动平台移动，使微透镜阵列四个角上的透镜圆心的坐标值与超导微波动态电感探测器阵列芯片四个角上的平面天线中心点的坐标值一致。本发明能够以探测器芯片和微透镜外围轮廓为参考，对探测器芯片中耦合天线的中心点和微透镜的圆心进行精确坐标定位，并通过相应的坐标定位法将耦合天线的中心点和微透镜的圆心进行精确定位安装。