[发明专利]一种频率可调的薄膜体声波谐振器及其制备方法在审
| 申请号： | 202011572983.8 | 申请日： | 2020-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN112543010A | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 李国强;张铁林;刘红斌;衣新燕;赵利帅;欧阳佩东 | 申请（专利权）人： | 华南理工大学 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H3/02;H03H9/02 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 何淑珍;江裕强 |
| 地址： | 510640 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种频率可调的薄膜体声波谐振器及其制备方法。该谐振器包括衬底、空气隙、电极和压电层的三明治结构及电极引出层；所述衬底与所述电极和压电层的三明治结构连接，衬底与所述电极和压电层的三明治结构的连接面向衬底内凹陷，形成空气隙；所述电极引出层与所述电极和压电层的三明治结构连接。所述电极和压电层的三明治结构包括底电极、压电层、中间电极及顶电极，电极与压电层相间排布形成三明治结构，所述底电极上层叠压电层，所述中间电极被压电层包裹，顶电极层叠在压电层上；所述压电层及中间电极的数量均为n个，n为整数且n的取值≥1。该谐振器可以根据外加偏置电压调整谐振倍频，适用于5G高频通信领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 频率 可调 薄膜 声波 谐振器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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