[发明专利]波导光栅器件、光波导相控阵、光学扫描及光通信装置在审

专利信息
申请号: 202011572753.1 申请日: 2020-12-24
公开(公告)号: CN114675369A 公开(公告)日: 2022-06-28
发明(设计)人: 张林;郭勇君 申请(专利权)人: 天津大学
主分类号: G02B6/12 分类号: G02B6/12;H04B10/11;H04B10/40
代理公司: 北京方可律师事务所 11828 代理人: 吴艳;郝东晖
地址: 300072*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 本申请公开了一种波导光栅器件,其包括基底以及形成在基底上的多个电介质层,所述多个电介质层包括波导芯层,波导芯层中形成有光栅,其中所述基底在位于所述光栅正下方的位置上被完全刻蚀掉,以露出所述电介质层,使得所述波导光栅器件在所述光栅的上下两侧形成辐射通道。本申请还公开具有波导光栅器件的光波导相控阵和光学扫描装置。根据本发明实施例,利用了光栅基底侧的辐射,形成了上下双向辐射的波导光栅,提高了能量利用效率,并抑制了噪声。
搜索关键词: 波导 光栅 器件 相控阵 光学 扫描 光通信 装置
【主权项】:
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