[发明专利]一种增加溶解差的光刻胶树脂单体及其合成方法在审

专利信息
申请号: 202011541794.4 申请日: 2020-12-23
公开(公告)号: CN112679461A 公开(公告)日: 2021-04-20
发明(设计)人: 潘惠英;蒋小惠;李嫚嫚;贺宝元;郭颖 申请(专利权)人: 上海博栋化学科技有限公司
主分类号: C07D317/26 分类号: C07D317/26;C07D317/72;G03F7/004
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 201614 上海市松江*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种增加溶解差的光刻胶树脂单体,涉及光刻胶树脂单体领域,光刻胶树脂单体的结构式为:其中R1为甲基或者H;R2、R3分别独立的为氢或者烷基,且R2和R3能够通过共价键形成环状结构。该树脂单体曝光前后溶解差差异大,抑制酸的扩散,能够降低粗糙度,提高灵敏度和分辨率,有利于形成均一性良好的光刻图案,并且该树脂单体具有多环结构,更具耐刻蚀性能,另外曝光前因为含有酮和半缩醛结构,能够改善光刻胶与晶圆的粘附力。
搜索关键词: 一种 增加 溶解 光刻 树脂 单体 及其 合成 方法
【主权项】:
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