[发明专利]一种高疏水性超薄晶圆清洗装置在审
| 申请号： | 202011539209.7 | 申请日： | 2020-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN112588692A | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 严立巍;文锺;符德荣 | 申请（专利权）人： | 绍兴同芯成集成电路有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/04 | 分类号： | B08B3/04;B08B5/04;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 | 代理人： | 饶富春 |
| 地址： | 312000 浙江省绍兴市越城区*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本公开公开了一种高疏水性超薄晶圆清洗装置，属于晶圆生产技术领域，包括治具、治具上盖、清洗槽体上盖和清洗槽体，治具位于清洗槽体内，清洗槽上盖可拆卸连接在清洗槽体上，清洗槽体和清洗槽上盖的连接处设有密封垫，超薄晶圆采用重直式固定于治具内，清洗槽体的底端设有第一通孔和第二通孔，治具上设有治具上盖，治具上盖上固定连接有若干对第一固定条，治具内设有若干对第二固定条；本方案解决了现有技术中超薄晶圆表面清洗以及干燥产生水痕的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 疏水 超薄 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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