[发明专利]电容式氢气传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202011530555.9 | 申请日： | 2020-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN112730537A | 公开（公告）日： | 2021-04-30 |
| 发明（设计）人： | 肖韩;宋华威;王荣 | 申请（专利权）人： | 杭州未名信科科技有限公司;浙江省北大信息技术高等研究院 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 金铭 |
| 地址： | 311200 浙江省杭州市萧*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请涉及半导体技术领域，具体涉及一种电容式氢气传感器及其制造方法，包括：电极层形成在所述衬底的介质层上，第一电极和第二电极呈叉指状交错排列；氢气敏感层，形成在所述电极层上，且氢气敏感层为网状结构的聚合物膜。本发明采用网状结构的聚合物膜作为氢气敏感层，这样氢气敏感层可以具有足够高的氢气渗透性，使得电容式氢气传感器的灵敏度更高，响应速度更快，此外，第一电极、第二电极呈叉指状交错排列，使得整个电容式氢气传感器有效面积变大、容值大、灵敏度高。值得一提的是，本实施例中的制造工艺可以与CMOS工艺平台完美兼容，大大缩小了器件的尺寸，易于与集成电路芯片结合。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 氢气 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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