[发明专利]基于光学频率梳干涉测量法进行三维成像的装置及方法有效
| 申请号： | 202011525217.6 | 申请日： | 2020-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN112526544B | 公开（公告）日： | 2022-12-30 |
| 发明（设计）人： | 元晋鹏;汪丽蓉;王三丹 | 申请（专利权）人： | 山西大学 |
| 主分类号： | G01S17/89 | 分类号： | G01S17/89;G01S7/48 |
| 代理公司： | 太原晋科知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 14110 | 代理人： | 赵江艳 |
| 地址： | 030006*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明属于材料形貌表征的技术领域，具体涉及一种可以对固体材料进行三维成像的装置和方法，装置包括光源系统、分光元件、二维平移台、第一反射镜、光谱仪和信号处理系统，光源系统包括飞秒光纤激光器，飞秒光纤激光器的重复频率和偏置频率被锁定至原子钟上形成光学频率梳；光源系统发出的光束经分光元件分为两束后，一束作为参考光束垂直入射至第一反射镜；一束作为探测光束入射至放置在二维平台上的待测样品表面；参考光束和探测光束分别被反射后返回分光元件，在分光元件处重合并发生干涉，干涉信号进入光谱仪后，经信号处理系统计算得到待测样品的三维形貌。本发明实现待测样品的三维形貌成像，其测量精度高，可以广泛应用于材料领域。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 光学 频率 干涉 测量 进行 三维 成像 装置 方法 | ||
【主权项】：
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