[发明专利]一种硅烷精确出料的控制系统及方法有效
| 申请号： | 202011518525.6 | 申请日： | 2020-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN112657427B | 公开（公告）日： | 2022-12-13 |
| 发明（设计）人： | 陶刚义;张鑫 | 申请（专利权）人： | 内蒙古兴洋科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B01J4/00 | 分类号： | B01J4/00 |
| 代理公司： | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 姜海荣 |
| 地址： | 010400 内蒙古自治区鄂*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅烷精确出料的控制系统及方法，系统包括硅烷塔，硅烷塔具有进料口和出料口；还包括纯度在线监测系统、出料流量反馈系统和出料流量控制系统；纯度在线监测系统安装在硅烷塔内部顶端，用于监测硅烷纯度，以判断是否出料；出料流量反馈系统用于对进料口的硅烷流量和温度进行检测，以判断出料量的多少；出料流量控制系统与出料口连接，且用于根据出料流量反馈系统反馈的信息控制并监测出料流量；出料流量控制系统连接有硅烷收集罐。本发明通过纯度在线监测系统、出料流量反馈系统和出料流量控制系统的有效配合，实现了硅烷出料过程全自动化运行，避免了员工误操作导致采出硅烷纯度不够造成直接的经济损失。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅烷 精确 控制系统 方法 | ||
【主权项】：
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