[发明专利]一种具有POI结构的高FOM值兰姆波谐振器

摘要

本发明提供了一种具有POI结构的高FOM值兰姆波谐振器。兰姆波谐振器可包括：高声速材料衬底；以及位于所述高声速材料衬底上方的压电层，所述压电层的上表面和下表面上分别设置有第一和第二叉指换能器，其中所述第一和第二叉指换能器的叉指电极隔着所述压电层在层叠方向上彼此相对，且具有相同的电极宽度、电极厚度、电极间距、占空比η以及激发声波波长λ，其中占空比η＝电极宽度÷(电极宽度+电极间距)，所述压电层的材料为切角为θ的YX‑LiNbO3，并且其中所述切角θ和所述占空比η的取值分别为：30°≤θ≤60°，并且η＝0.2－0.6或0.8－0.9，以获得200以上的性能系数FOM值。