[发明专利]标尺在审
| 申请号： | 202011501256.2 | 申请日： | 2020-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN113280841A | 公开（公告）日： | 2021-08-20 |
| 发明（设计）人： | 三宅耕作;青木敏彦 | 申请（专利权）人： | 株式会社三丰 |
| 主分类号： | G01D5/32 | 分类号： | G01D5/32;G01D5/26;G01D5/12 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 张劲松 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种标尺，其能够在长期抑制腐蚀的同时，在测量中维持高测量精度。标尺具有基材、在所述基材的主面以规定的周期排列的标尺图案、以及覆盖所述标尺图案且至少一部分为单分子氟化合物的氟膜。 | ||
| 搜索关键词： | 标尺 | ||
【主权项】：
暂无信息
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