[发明专利]电子束检测装置及检测方法在审
| 申请号： | 202011497804.9 | 申请日： | 2020-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN114646995A | 公开（公告）日： | 2022-06-21 |
| 发明（设计）人： | 张科;陈果;柳鹏;姜开利;范守善 | 申请（专利权）人： | 清华大学;鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | G01T1/29 | 分类号： | G01T1/29 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区清*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种电子束检测装置，包括：一法拉第杯，该法拉第杯具有一开口；一多孔碳材料层，该多孔碳材料层设置在所述法拉第杯的表面且在所述开口处悬空设置，该多孔碳材料层悬空的长度大于等于待测电子束的最大直径；以及一电表，该电表与所述多孔碳材料层电连接，用于测试待测电子束和多孔碳材料层相对移动过程中多孔碳材料层中的电荷形成的电信号，并根据电信号随着待测电子束和多孔碳材料层相对移动的距离的变化，得到待测电子束的尺寸。本发明还提供一种采用上述电子束检测装置检测电子束的检测方法。 | ||
| 搜索关键词： | 电子束 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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