[发明专利]像素单元、包含其的成像系统及其制作方法

摘要

本发明涉及像素单元、包含其的成像系统及其制作方法。一种像素单元包含跨越源极跟随器栅极的表面而形成的导电隧道触点，所述隧道触点具有第一端、第二端及介于所述第一端与所述第二端之间的中间部分。所述第一端耦合到浮动扩散部FD，所述第二端耦合到复位晶体管RST的第一经掺杂区域。所述隧道触点形成为与所述源极跟随器栅极的所述表面进行物理及电接触达所述中间部分的长度，所述长度大体上等于所述源极跟随器栅极的宽度。本发明还描述形成所述像素单元的方法。