[发明专利]载置台的异物的检测方法以及检测装置在审
| 申请号： | 202011478601.5 | 申请日： | 2020-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN113109258A | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 齐木健太;石田卓也 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/94;G01N21/95;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 吕琳;朴秀玉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种载置台的异物的检测方法以及检测装置，提供一种能够检测能够吸附被检查物的载置台的表面的异物的技术。包括：取得能够吸附被检查物的载置台的表面的基准状态下的第一图像中包含的第一图案的第一位置信息的步骤；取得上述第一图像的摄像后的上述表面的第二图像中包含的第二图案的第二位置信息的步骤；以及将上述第一位置信息与上述第二位置信息进行比较，从而检测上述表面的异物的步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 载置台 异物 检测 方法 以及 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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