[发明专利]一种基于ART神经网络的晶圆缺陷检测方法有效
| 申请号： | 202011462376.6 | 申请日： | 2020-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN112529873B | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 连浩臻;刘政宏;刘洪荣;闵刚;梁海波 | 申请（专利权）人： | 深圳市芯汇群微电子技术有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06N3/08 |
| 代理公司： | 深圳市嘉勤知识产权代理有限公司 44651 | 代理人： | 王敏生 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市福田*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种基于ART神经网络的晶圆缺陷检测方法，该基于ART神经网络的晶圆缺陷检测方法，包括以下步骤：获取基于ART神经网络的缺陷检测模型并保存；获取扫描电镜采集的晶圆图像，并输入至所述缺陷检测模型；利用所述缺陷检测模型检测所述晶圆图像的缺陷及缺陷类型。该方法采用计算机视觉方式，通过基于ART神经网络的缺陷检测模型来检测晶圆缺陷，可以提高检测效率，有利于及时分析影响芯片良率的因素。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 art 神经网络 缺陷 检测 方法 | ||
【主权项】：
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