[发明专利]一种低温、大光程、平动式光程扫描干涉仪控制系统在审
| 申请号： | 202011455278.X | 申请日： | 2020-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN112595417A | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 郭兰杰;王钰;王淳;谭爽;张艾;王浩;林喆;赵筱琳 | 申请（专利权）人： | 北京空间机电研究所 |
| 主分类号： | G01J3/45 | 分类号： | G01J3/45;G01J3/02 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人： | 马全亮 |
| 地址： | 100076 北京市丰*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种低温、大光程、平动式光程扫描干涉仪控制系统。利用计量激光器发出激光光束，进入分束器，经屋脊镜反射，随角镜往复扫描形成光程差，从而产生P光和S光两路正交的干涉信号；激光探测器感知后经光电转换成正弦信号，将其放大后生成正交A/B脉冲，作为干涉仪角镜扫描控制的位置增量信息；DSP读取直线位移测量传感器LVDT提供的角镜扫描的实时位置，同时根据预设的角镜扫描位置规划曲线计算控制量；根据该控制量驱动直线直驱电机运动。本发明可用于低温环境下干涉型傅里叶变换光谱仪平动式光程扫描控制系统角镜扫描控制，实现±34cm的最大光程差和优于5‰的速度稳定度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 低温 光程 平动 扫描 干涉仪 控制系统 | ||
【主权项】：
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