[发明专利]一种光声传感器、检测装置及光声传感器的制作方法在审
| 申请号: | 202011451379.X | 申请日: | 2020-12-09 |
| 公开(公告)号: | CN112630162A | 公开(公告)日: | 2021-04-09 |
| 发明(设计)人: | 郭师峰;冯伟;王石;陈丹;张艳辉;杨之乐;张树潇 | 申请(专利权)人: | 深圳先进技术研究院 |
| 主分类号: | G01N21/17 | 分类号: | G01N21/17;G01N29/04;G01N29/24 |
| 代理公司: | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人: | 黎坚怡 |
| 地址: | 518055 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | 本申请提供了一种光声传感器、检测装置及光声传感器的制作方法,其中,该光声传感器包括:结合层,用于贴设于待检测件的表面;复合层,设置在结合层上,复合层是采用聚二甲基硅氧烷和烛灰碳纳米颗粒制成,复合层用于吸收外部入射激光,并向外辐射超声波,对待检测件进行无损检测。本申请提供的光声传感器能够直接贴设于待检测件的表面,因而可有效增强入射的激光超声信号,且能够有效避免该激光超声信号对待检测件表面造成烧蚀或氧化,进而拓宽了采用该光声传感器进行激光超声检测的应用范围。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 传感器 检测 装置 制作方法 | ||
【主权项】:
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