[发明专利]一种利用双微球耦合模式分裂检测基板热均匀性的装置在审
申请号: | 202011447236.1 | 申请日: | 2020-12-09 |
公开(公告)号: | CN112729776A | 公开(公告)日: | 2021-04-30 |
发明(设计)人: | 李寒阳;程洪玉;段瑞;郝晓磊 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨工程大学 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02 |
代理公司: | 北京沃知思真知识产权代理有限公司 11942 | 代理人: | 王妮 |
地址: | 150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | 本发明公开了一种利用双微球耦合模式分裂检测基板热均匀性的装置,所属光学器件技术领域,包括532nm激光脉冲光源、显微物镜、双微球耦合结构、MgF2基底、532nm滤光片、半透半反射镜、光谱分析仪、电荷耦合器件CCD、玻璃板、薄木板以及加热台。本发明中,基板的材料不均匀时,加热会引起基底上的位置点的温度不同,受热的两个微球折射率变化不同,光谱频移过程中的分裂峰反交叉现象灵敏;尺寸较小的两个微球耦合,可以在微尺度上对材料基板的位置点的均匀性进行实时检测;采用商业化的荧光染料微球组,尺寸均匀,发光效果良好,结构制作简单,使得此方案更加容易实现。 | ||
搜索关键词: | 一种 利用 双微球 耦合 模式 分裂 检测 基板热 均匀 装置 | ||
【主权项】:
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