[发明专利]一种利用双微球耦合模式分裂检测基板热均匀性的装置在审

专利信息
申请号: 202011447236.1 申请日: 2020-12-09
公开(公告)号: CN112729776A 公开(公告)日: 2021-04-30
发明(设计)人: 李寒阳;程洪玉;段瑞;郝晓磊 申请(专利权)人: 哈尔滨工程大学
主分类号: G01M11/02 分类号: G01M11/02
代理公司: 北京沃知思真知识产权代理有限公司 11942 代理人: 王妮
地址: 150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区*** 国省代码: 黑龙江;23
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摘要: 发明公开了一种利用双微球耦合模式分裂检测基板热均匀性的装置,所属光学器件技术领域,包括532nm激光脉冲光源、显微物镜、双微球耦合结构、MgF2基底、532nm滤光片、半透半反射镜、光谱分析仪、电荷耦合器件CCD、玻璃板、薄木板以及加热台。本发明中,基板的材料不均匀时,加热会引起基底上的位置点的温度不同,受热的两个微球折射率变化不同,光谱频移过程中的分裂峰反交叉现象灵敏;尺寸较小的两个微球耦合,可以在微尺度上对材料基板的位置点的均匀性进行实时检测;采用商业化的荧光染料微球组,尺寸均匀,发光效果良好,结构制作简单,使得此方案更加容易实现。
搜索关键词: 一种 利用 双微球 耦合 模式 分裂 检测 基板热 均匀 装置
【主权项】:
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