[发明专利]基于光生自由载流子的芯片集成全光调制方法在审
| 申请号： | 202011443425.1 | 申请日： | 2020-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN114609804A | 公开（公告）日： | 2022-06-10 |
| 发明（设计）人： | 郭凯;张洁;陈浩;闫培光 | 申请（专利权）人： | 军事科学院系统工程研究院网络信息研究所 |
| 主分类号： | G02F1/01 | 分类号： | G02F1/01 |
| 代理公司： | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 | 代理人： | 郝亮 |
| 地址： | 100141 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于光生自由载流子的芯片集成全光调制方法，泵浦光场通过定向耦合器进入光学调制器、通过双光子吸收效应产生自由载流子并改变传输波导折射率，信号光场相位随折射率变化实现有效调制。该方法基于现阶段相对成熟的芯片集成光路制备工艺，能够通过一次曝光刻蚀制备完成，同时兼顾高调制速率、低插入损耗、高机械稳定性、高制备效率等优势，有望在超大规模芯片集成光电系统中得到广泛应用。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 自由 载流子 芯片 集成 调制 方法 | ||
【主权项】：
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