[发明专利]一种高α相氮化硅粉体的生产工艺有效
| 申请号： | 202011438167.8 | 申请日： | 2020-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN112250046B | 公开（公告）日： | 2022-11-18 |
| 发明（设计）人： | 夏静豪;夏凡 | 申请（专利权）人： | 安阳亨利高科实业有限公司 |
| 主分类号： | C01B21/068 | 分类号： | C01B21/068;C04B35/584;C04B35/626 |
| 代理公司： | 安阳金泰专利代理事务所(普通合伙) 41150 | 代理人： | 王晖 |
| 地址： | 455000 河南省安阳*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 一种高α相氮化硅粉体的生产工艺，包括以下步骤：A：将硅粉研磨粉碎至D90为6μm；B：将研磨好的硅粉装入匣钵中，装料厚度在15‑30mm之间；C：将多个装好硅粉的匣钵上下叠放成一摞，叠放后的一摞中的各匣钵中硅粉的厚度总和小于等于300mm；D：将多摞装好硅粉的匣钵放入真空加热炉；E：将真空加热炉气压抽到100Pa以下；F：充入氮气至60kPa；G：升温反应，H：关闭系统加热，冷却真空加热炉，使系统在15至20小时降温至常温；I：取出反应产物粉碎、研磨为粉体。采用本发明的工艺可以得到α相含量超过95%的氮化硅粉体。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氮化 硅粉体 生产工艺 | ||
【主权项】：
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