[发明专利]压力传感器单元以及多维压力传感器及其制造方法有效
| 申请号： | 202011406316.2 | 申请日： | 2020-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN112563405B | 公开（公告）日： | 2021-08-31 |
| 发明（设计）人： | 杨睿峰;曾怀望;焦文龙;王淼;李嗣晗 | 申请（专利权）人： | 联合微电子中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H01L41/113 | 分类号： | H01L41/113;H01L41/047;H01L41/22;H01L41/29;H01L27/20;G01L1/20;G01L9/06 |
| 代理公司： | 北京市汉坤律师事务所 11602 | 代理人： | 初媛媛;吴丽丽 |
| 地址： | 401332 重庆*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 公开了一种压力传感器单元以及多维压力传感器及其制造方法。该压力传感器单元包括：底电极；底电极引线，与底电极电连接；压电材料层；顶电极；顶电极引线，与顶电极电连接，其中，底电极、压电材料层和顶电极沿着压电材料层的敏感轴方向顺序堆叠，以用于感测敏感轴方向上的压力，并且其中，底电极引线和顶电极引线之一包括电阻分段和引线分段，电阻分段充当电阻式传感器，用于感测电阻分段的长度方向上的压力。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 单元 以及 多维 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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