[发明专利]激光加工装置在审

专利信息
申请号: 202011405727.X 申请日: 2020-12-03
公开(公告)号: CN112894127A 公开(公告)日: 2021-06-04
发明(设计)人: 久保光司 申请(专利权)人: 株式会社三丰
主分类号: B23K26/046 分类号: B23K26/046;B23K26/06;B23K26/062;B23K26/70
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 丁紫玉
地址: 日本神*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种激光加工装置(1),其具有:焦距可变光学系统(10),其根据输入的驱动信号(Cf)使对焦位置(Pf)周期性地变化;位置检测用光源(41),其经由焦距可变光学系统(10)向工件(W)照射检测光;光检测器(44),其接收在工件(W)被反射的检测光(Lm)并输出光检测信号(Int);信号处理部(62),其基于输入的光检测信号(Int),输出与检测光在工件(W)的表面对焦的对焦正时同步的同步脉冲信号(Sync);激光振荡器(311),其基于输入的同步脉冲信号(Sync)使脉冲激光(Lp)振荡,经由焦距可变光学系统(10)向工件(W)照射脉冲激光(Lp)。
搜索关键词: 激光 加工 装置
【主权项】:
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