[发明专利]激光加工装置在审
| 申请号: | 202011405727.X | 申请日: | 2020-12-03 |
| 公开(公告)号: | CN112894127A | 公开(公告)日: | 2021-06-04 |
| 发明(设计)人: | 久保光司 | 申请(专利权)人: | 株式会社三丰 |
| 主分类号: | B23K26/046 | 分类号: | B23K26/046;B23K26/06;B23K26/062;B23K26/70 |
| 代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 丁紫玉 |
| 地址: | 日本神*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | 一种激光加工装置(1),其具有:焦距可变光学系统(10),其根据输入的驱动信号(Cf)使对焦位置(Pf)周期性地变化;位置检测用光源(41),其经由焦距可变光学系统(10)向工件(W)照射检测光;光检测器(44),其接收在工件(W)被反射的检测光(Lm)并输出光检测信号(Int);信号处理部(62),其基于输入的光检测信号(Int),输出与检测光在工件(W)的表面对焦的对焦正时同步的同步脉冲信号(Sync);激光振荡器(311),其基于输入的同步脉冲信号(Sync)使脉冲激光(Lp)振荡,经由焦距可变光学系统(10)向工件(W)照射脉冲激光(Lp)。 | ||
| 搜索关键词: | 激光 加工 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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