[发明专利]一种六氟化硫气体中分解物、水分和纯度检测装置和方法

摘要

本发明公开了一种六氟化硫气体中分解物、水分和纯度检测装置和方法，包括依次连通的进气口、电磁阀、可调谐激光传感器气室、紫外传感器气室、红外传感器气室一、红外传感器气室二和三通电磁阀，三通电磁阀一出口通过真空泵连接到三通电磁阀另一出口，三通电磁阀另一出口依次连接到流量传感器和尾气收集装置。本发明能够实现六氟化硫气体中分解物、水分和纯度的快速检测，气量消耗少，操作简单，检测成本降低，有效解决了现有技术针对SF6气体中的分解物、水分和纯度检测采用分开方式进行存在的检测时间久，消耗气量大，操作繁琐，检测成本高等问题。