[发明专利]一种集成电路测试过程中自动清洁夹具的装置在审
| 申请号： | 202011402992.2 | 申请日： | 2020-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN112557873A | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 顾春华;凌俭波;崔孝叶;范文萱 | 申请（专利权）人： | 上海华岭集成电路技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R1/04;B08B5/00 |
| 代理公司： | 上海海贝律师事务所 31301 | 代理人： | 宋振宇 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区中国（*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种集成电路测试过程中自动清洁夹具的装置，根据夹具的形状，选择在夹具本体上开设数个圆孔，圆孔内穿过气管，所述气管用于通入抗氧化气体。通过设置这个固定装置，测试过程中，自动清洁是在线的，无效过多的人为干预，而且设置和操作都相对简单，可以有效的延长夹具的使用性能和寿命，可以有效的提高测试良率、提升测试产能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成电路 测试 过程 自动 清洁 夹具 装置 | ||
【主权项】：
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