[发明专利]一种薄膜体声波谐振器及其制备方法在审
| 申请号： | 202011402902.X | 申请日： | 2020-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN112564658A | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 李立伟;郭鹏飞;陆原;马琳 | 申请（专利权）人： | 赛莱克斯微系统科技（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/04 | 分类号： | H03H3/04;H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京众达德权知识产权代理有限公司 11570 | 代理人： | 田丹 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京经济技术开发*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及薄膜体声波谐振器技术领域，具体涉及一种薄膜体声波谐振器及其制备方法。本发明将薄膜体声波谐振器设置在绝缘层上，降低了器件对衬底层的高阻特性要求，提高了薄膜体声波谐振器的电绝缘特性，减少了射频信号损失；本发明第二电极上的悬臂梁结构、悬空梁结构和高低跨梁结构与压电层之间存在空气间隙，能够有效反射回薄膜体产生的声波信号，减少声波信号的衰减；另外本发明还在第一电极和第二电极的一侧分别设置了具有压应力特性的第一温度补偿层和第二温度补偿层，来平衡压电薄膜在温度差异变化中因应力而产生的畸变，进行温度补偿，以此来提高薄膜体声波谐振器的频率稳定性，从而提高了薄膜体声波谐振器在不同应用场景的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 声波 谐振器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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