[发明专利]一种高真空下石英半球谐振子性能参数测量装置在审
| 申请号： | 202011400556.1 | 申请日： | 2020-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN112577522A | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | 许剑锋;楚建宁;朱蓓蓓;兰洁;陈肖;张建国;秦琳 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学;上海航天控制技术研究所 |
| 主分类号： | G01C25/00 | 分类号： | G01C25/00 |
| 代理公司： | 武汉华之喻知识产权代理有限公司 42267 | 代理人： | 张彩锦;梁鹏 |
| 地址： | 430074 *** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明属于半球谐振陀螺配套检测设备领域，并具体公开了一种高真空下石英半球谐振子性能参数测量装置，其包括真空单元、运动单元、激励单元及数据采集与处理单元，真空单元包括真空腔体，真空腔体的侧壁设有玻璃观察窗口；运动单元和激励单元置于真空腔体中，运动单元用于调节石英半球谐振子的空间姿态与位置，激励单元用于产生瞬态激励以使石英半球谐振子振动；数据采集与处理单元设于真空腔体的玻璃观察窗口的旁侧，用于将测量激光发射至石英半球谐振子表面，并基于接收的反射光信息进行数据处理获得石英半球谐振子的性能参数。本发明可实现高真空环境下的石英半球谐振子性能参数的高精度测量，具有测量精度高、操作简单、可靠性高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 石英 半球 谐振子 性能参数 测量 装置 | ||
【主权项】：
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