[发明专利]一种用于柱状偏振光的生成与聚焦的微球透镜有效

专利信息
申请号: 202011398082.1 申请日: 2020-12-04
公开(公告)号: CN112630876B 公开(公告)日: 2022-03-04
发明(设计)人: 凌进中;郭金坤;袁影;刘鑫;王晓蕊 申请(专利权)人: 西安电子科技大学
主分类号: G02B5/18 分类号: G02B5/18;G02B5/30;G02B3/00
代理公司: 西安智萃知识产权代理有限公司 61221 代理人: 方力平
地址: 710071 陕*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明公开了一种用于柱状偏振光的生成与聚焦的微球透镜,所述微球透镜的表面刻有准周期性的亚波长光栅结构;其中,亚波长光栅结构处于入射光照射的半球表面,但不覆盖中心区域;光栅结构的周期小于入射光波长;光栅为曲线,且光栅槽宽逐渐变化;光栅的光栅矢量由球面位置来确定,即光栅矢量与光栅在球面上的方位以及光栅与中心点的距离有关;光栅的刻蚀深度为百纳米量级。本发明微球透镜除具有光学聚焦功能外,还能够生成任意角度的柱状偏振光,实现中空的聚焦光斑,即光束中心强度为零;可广泛应用于光镊、光刻、光学微加工和光学超分辨等技术领域,结合现有的光学显微镜系统,可实现对微纳粒子的三维自由操作。
搜索关键词: 一种 用于 柱状 偏振光 生成 聚焦 透镜
【主权项】:
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