[发明专利]一种大功率InGaAs/InP单行载流子光电探测器的设计方法在审

专利信息
申请号: 202011391007.2 申请日: 2020-12-02
公开(公告)号: CN112563351A 公开(公告)日: 2021-03-26
发明(设计)人: 龚世杰;郑谢恩;金运姜 申请(专利权)人: 中山大学
主分类号: H01L31/0304 分类号: H01L31/0304;H01L31/109
代理公司: 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 代理人: 张金福
地址: 510260 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种大功率InGaAs/InP单行载流子光电探测器的设计方法,包括以下步骤:S1:构建基于光吸收层、收集层、阻挡层单行载流子光电探测器;S2:分别构建光吸收层和收集层之间的异质结、阻挡层和光吸收层之间的异质结,给单行载流子光电探测器施加反向偏置电压;S3:根据反向偏置电压的分压结果,增加阻挡层的掺杂浓度提高单行载流子光电探测器饱和电流输出值。本发明通过对光电探测器阻挡层优化,改变阻挡层材料的掺杂浓度,提高了光电探测器饱和输出电流。
搜索关键词: 一种 大功率 ingaas inp 单行 载流子 光电 探测器 设计 方法
【主权项】:
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