[发明专利]一种智能调控的相变冷却器及其冷却方法有效
| 申请号： | 202011374788.4 | 申请日： | 2020-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN112509999B | 公开（公告）日： | 2022-12-06 |
| 发明（设计）人： | 潘振海;闫哲 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | H01L23/467 | 分类号： | H01L23/467;H01L23/427;H01L23/473;G05D23/20 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 林君如 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种智能调控的相变冷却器及其冷却方法，该相变冷却器包括自上而下依次布置的储液腔室、回流腔室和冷却腔室，储液腔室和回流腔室分别设置有用于流入/流出冷却工质的总入口/总出口，储液腔室通过多个流量可控的连通管与冷却腔室内多个冷却单元对应连接，多个冷却单元对应于微电子芯片的不同位置，冷却腔室与回流腔室之间设置有盖板，盖板上开设有用于流出汽液混合工质的多个分出口，盖板上还开设有与连通管连接的分入口，总入口与给液泵连接，总出口与冷凝器连接，冷凝器通过液池连接至给液泵。与现有技术相比，本发明能够有效解决芯片发热不均匀情况下的散热问题，且能在保证散热效果的前提下降低给液泵功耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 智能 调控 相变 冷却器 及其 冷却 方法 | ||
【主权项】：
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