[发明专利]MEMS陀螺仪有效
| 申请号： | 202011373477.6 | 申请日： | 2020-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN112683256B | 公开（公告）日： | 2023-05-30 |
| 发明（设计）人： | 占瞻;马昭;阚枭;杨珊;李杨;谭秋喻;洪燕;黎家健 | 申请（专利权）人： | 瑞声科技（南京）有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/5621 | 分类号： | G01C19/5621 |
| 代理公司： | 深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) 44312 | 代理人： | 鲍竹 |
| 地址： | 210093 江苏省南京市栖霞区仙林*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了MEMS陀螺仪，包括环形结构、连接于环形结构的第一耦合结构、连接于第一耦合结构的质量块、与质量块相连的锚点、连接于相邻的质量块之间的第二耦合结构及连接于环形结构和质量块的换能组件，MEMS陀螺仪包括4N个绕环形结构的中心等角度排布的质量块，N为大于等于2的整数，质量块包括与第一耦合结构相连且开设有收容槽的主体及连接于主体且位于收容槽内的弹性结构，锚点设置于收容槽内且与弹性结构相连。本方案能够提高芯片区域的面积使用率，增加灵敏度，提高偏置稳定性，提升其检测性能，降低机械噪声。 | ||
| 搜索关键词： | mems 陀螺仪 | ||
【主权项】：
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