[发明专利]探针卡载双进气道装置有效
| 申请号： | 202011363361.4 | 申请日： | 2020-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN112379135B | 公开（公告）日： | 2022-03-11 |
| 发明（设计）人： | 赵梁玉;王艾琳;王兴刚;周明 | 申请（专利权）人： | 强一半导体（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067;G01R1/073;G01R31/26;G01R35/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明探针卡载双进气道装置属于半导体器件测试技术领域；该探针卡载双进气道装置按照空气流动方向，包括空气泵，第一三通阀门，连接第一三通阀门第一出口的高温高压箱，连接第一三通阀门第二出口的常温高压箱，所述高温高压箱中设置有电阻丝、温度传感器和第一压强计，所述常温高压箱中设置有第二压强计，所述高温高压箱有两个出口，第一出口通过第一阀门连接下出气孔，第二出口连接第二三通阀门，所述第二三通阀门还分别连接常温高压箱的出口和第二阀门，所述第二阀门连接侧出气孔；本发明探针卡载双进气道装置应用于功率器件高温高压测试探针卡，能够同时抑制高电压环境下探针之间非正常放电和高温度环境下探针卡翘曲变形和探针位置漂移。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 卡载双进气道 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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