[发明专利]可变电容器及半导体工艺设备有效
| 申请号： | 202011360677.8 | 申请日： | 2020-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN112885605B | 公开（公告）日： | 2022-10-21 |
| 发明（设计）人： | 陈旭阳 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01G7/06 | 分类号： | H01G7/06;H01J37/32;H01G13/00 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 姚琳洁;朱文杰 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明一个或多个实施例公开了一种可变电容器及半导体工艺设备，用以解决现有的可变电容器难以快速、连续地调节电容值以及半导体工艺设备中的阻抗匹配效果差的问题。包括相互连接的电容体和电容控制模块；电容体包括相对设置的偏置电极片、相对设置的射频电极片和相对设置的绝缘连接片，偏置电极片、射频电极片及绝缘连接片互相连接围成一密闭空间；密闭空间内填充有指定介质；指定介质的介电常数随施加至偏置电极片的电压变化而变化；电容控制模块用于接收目标电容值，向偏置电极片施加与目标电容值对应的电压。该可变电容器能够实现对电容值的快速、连续调节效果，采用该可变电容器的半导体工艺设备的阻抗匹配效果能够得到提升。 | ||
| 搜索关键词： | 可变电容器 半导体 工艺设备 | ||
【主权项】：
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