[发明专利]机械微系统以及相关制造方法在审
| 申请号： | 202011359427.2 | 申请日： | 2020-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN112850636A | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 蒂埃里·希尔特;克里斯特尔·迪普代尔;劳伦特·莫拉德 | 申请（专利权）人： | 法国原子能源和替代能源委员会 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81B3/00;B81C1/00;H01L41/09;H01L41/332 |
| 代理公司： | 北京商专永信知识产权代理事务所(普通合伙) 11400 | 代理人： | 方挺;侯晓艳 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明首先涉及机械微系统(1)，包括：一对弹性可形变元件(11，12)，将可形变元件连接在一起的机械铰链(13)，以及至少两个电活性层(14，15)。该微系统配置成：将所述可形变元件之一从静止位置(其中可形变元件落入平面中)移出平面之外的形变引起在两个电活性层之一中的电流循环，和/或反之亦然。每个可形变元件具有彼此相对并基本平行于该平面的正面(111，121)和背面(112，122)。第一电活性层与第一可形变元件一起布置在其背面(112)上，并且与第一电活性层不同的第二电活性层在其正面121上具有与第一可形变元件不同的第二可形变元件。该机械微系统能够产生可变形元件在静止平面之外的运动，这些运动是对抗性的以实现双金属效应。 | ||
| 搜索关键词： | 机械 系统 以及 相关 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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