[发明专利]N型掺氧型微晶作为窗口层的异质结光伏电池的制备方法

摘要

本发明公开了N型掺氧型微晶作为窗口层的异质结光伏电池的制备方法，所述方法包括如下步骤：硅片预清洗；PSG氧化层沉积及高温处理；去除表面的PSG/USG氧化层，用碱液去损伤和制绒，并清洗；PECVD镀膜制备表面钝化膜层和掺杂膜层；PVD磁控溅射制备透明导电膜；表面形成金属栅线。本发明保留N型电极前置的技术特点，改造N型非晶硅掺杂层为含氧型N型微晶，通过提升能带带隙导致光学吸收的降低、调节窗口层的光学折射率优化减反效果，短路电流有较大提升，可以匹配传统直拉单晶HIT电池片，传统上成本较低的铸锭单晶方式也可以导入异质结的规模量产，对持续降本非常有利，同时现有的多晶炉可以经简单改造，形成有效产能，减少设备的投资浪费。