[发明专利]一种汽车制剂压力应变器陶瓷电路制备方法在审
| 申请号： | 202011347380.8 | 申请日： | 2020-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN112563145A | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 康文涛;张迅;彭伟才 | 申请（专利权）人： | 娄底市安地亚斯电子陶瓷有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/50 | 分类号： | H01L21/50;H01L21/60;G01L9/04 |
| 代理公司： | 长沙朕扬知识产权代理事务所(普通合伙) 43213 | 代理人： | 马家骏 |
| 地址： | 417000 *** | 国省代码： | 湖南;43 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了汽车制剂压力应变器陶瓷电路制备方法，包括以下步骤：S1：将设计好的电桥电路按集成电路生产技术制作成die；S2：将步骤S1中的die使用玻璃微熔技术焊接在陶瓷衬底上；S3：用邦定工艺将电桥电路引线到后级处理电路中。本发明相比传统的汽车制剂压力应变器陶瓷电路制备方法具有生产过程简单、生产效率高、产品合格率高等优点且利用现技术生产的应变片灵敏度和精度都比传统方法生产的要高很多。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 汽车 制剂 压力 应变 陶瓷 电路 制备 方法 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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